在線分析儀表的性能指標(biāo)含義廣泛，但大體上可以分成兩類。

一類性能指標(biāo)與儀器的工作范圍和工作條件有關(guān)。工作范圍主要是指測(cè)量對(duì)象、測(cè)量范圍等；工作條件包括環(huán)境條件、樣品條件、供電供氣要求，儀表的防爆性能和防護(hù)等級(jí)等。

另一類性能指標(biāo)與儀器的分析信號(hào)，即儀器的響應(yīng)值有關(guān)。這類指標(biāo)主要有靈敏度、檢出限、重復(fù)性、準(zhǔn)確度、分辨率、穩(wěn)定性、線性范圍、響應(yīng)時(shí)間等。

檢出限（limit of detection）——是指能產(chǎn)生一個(gè)確證在樣品中存在被測(cè)物質(zhì)的分析信號(hào)所需的該物質(zhì)的最小含量或最小濃度，是表征和評(píng)價(jià)分儀器檢測(cè)能力的基本指標(biāo)。

重復(fù)性(repeatability)——又稱重復(fù)性誤差。重復(fù)性誤差是指儀器在操作條件不變的情況下，多次分析結(jié)果之間的偏差。

精密度——是指多次重復(fù)測(cè)定同一量時(shí)各次測(cè)定值之間彼此相符合的程度，表示測(cè)定過(guò)程中隨機(jī)誤差的大小，一般用標(biāo)準(zhǔn)偏差表征。

儀器的準(zhǔn)確度（accuracy）——是指在一定測(cè)量條件下，多次測(cè)定的平均值與真值相符合的程度，表示儀器的指示值接近真值的能力。儀器的準(zhǔn)確度有稱精確度，簡(jiǎn)稱精度。

分辨率(resolution)——又稱分辨力或分辨能力，是指儀器能區(qū)分開(kāi)最鄰近示量值的能力。

穩(wěn)定性——是指在規(guī)定的工作條件下，儀器保持其計(jì)量特性不變的能力。分析儀器的穩(wěn)定性，主要是指分析儀器響應(yīng)值隨時(shí)間的變化特性。穩(wěn)定性可用噪聲和漂移來(lái)表征。

線性范圍——是指校正曲線所跨越的最大線性區(qū)間，用來(lái)表示對(duì)被測(cè)組分含量或濃度的適應(yīng)性。儀器的線性范圍越寬越好。

線性度——又稱線性度誤差或非線性誤差，一般是指儀表的輸出曲線與相應(yīng)直線之間的最大偏差，用該偏差與儀器量程的百分?jǐn)?shù)表示。